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南京盛鑫半導體材料有限公司外延材料擴產(chǎn)項目環(huán)境影響評價公示
文章來自: 發(fā)布時間:2025/4/25 10:00:24 點擊數(shù):211 [返 回]

南京盛鑫半導體材料有限公司擬投資29764萬元建設外延材料擴產(chǎn)項目,利用現(xiàn)有廠區(qū),購置外延爐、汞探針CV測試儀等設備123臺,新增4條外延材料生產(chǎn)線,項目完成后,形成新增年產(chǎn)外延材料480萬片的能力。

按照國家環(huán)境保護法律規(guī)定,委托南京源恒環(huán)境研究所有限公司對本項目進行環(huán)境影響評價,現(xiàn)將項目環(huán)境影響評價情況進行公告,公告如下:

一、建設項目情況簡述

項目名稱:外延材料擴產(chǎn)項目;

項目性質(zhì):擴建;

建設地址:南京市江寧經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)蘇源大道68號;

行業(yè)類別:[C3985]電子專用材料制造;

投資總額:項目總投資29764萬元。

二、建設項目對環(huán)境可能造成的影響及采取的減緩措施

1、廢氣

硅外延生長產(chǎn)生的酸性廢氣均由外延爐單獨配置的二級水噴淋塔收處理通過25m排氣筒(FQ-163~FQ-283)排入大氣環(huán)境,即外延工序共計121個酸霧排口。

電阻率檢測清洗、堿清潔堿性廢氣收集后依托現(xiàn)有2套酸洗措施處理達標后通過現(xiàn)有225m排氣筒(FQ-130 FQ-155)排入大氣環(huán)境。

表面晶格缺陷檢測過程中廢氣以及氣柜會酸性廢氣收集后依托現(xiàn)有二級堿噴淋后通過25m排氣筒(FQ-131)排入大氣環(huán)境。

清洗間清洗、外延爐石英件清洗廢氣以及氣柜酸性廢氣收集后依托現(xiàn)有二級堿噴淋后通過25m排氣筒(FQ-132)排入大氣環(huán)境。

潔凈間產(chǎn)品及設備擦拭有機廢氣收集后依托現(xiàn)有二級活性炭裝置處理后通過25m排氣筒(FQ-133)排入大氣環(huán)境。

污水處理站惡臭氣體收集后經(jīng)現(xiàn)有堿噴淋+除濕塔+二級活性炭吸附處理后通過現(xiàn)有15米排氣筒(FQ-142)排放。

本項目無組織廢氣主要為FAB-1車間、污水站未捕集的氟化物、氮氧化物、非甲烷總烴、氨氣、氯化氫、硫化氫等,經(jīng)預測可滿足廠界達標排放。

2、廢水

本項目廢水主要為生活污水、清洗廢水、廢氣洗滌廢水、冷卻塔廢水,清洗廢水、廢氣洗滌廢水、冷卻塔廢水經(jīng)收集后,送至廠區(qū)污水站處理后與經(jīng)過化糞池處理的生活污水接管至江寧開發(fā)區(qū)南區(qū)污水處理廠處理,尾水排入云臺山河。

3、噪聲

本項目外延爐、清洗機、甩干機、風機等噪聲設備,經(jīng)過隔聲、基礎減振、距離衰減等措施后可以做到達標排放。

4、固廢

本項目危險廢物包括廢酸、廢化劑桶、污泥(待鑒別)、廢活性炭、廢礦物油等。危險廢物均委托有資質(zhì)單位處理。

5、風險

項目生產(chǎn)過程存在一定環(huán)境風險,經(jīng)采取風險防范措施和應急預案后,環(huán)境風險是可以接受的。

三、環(huán)境影響報告表提出的環(huán)境影響評價結論的要點

本項目建設于南京市江寧經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū),生產(chǎn)規(guī)模為建設新增4條外延材料生產(chǎn)線,項目完成后,形成新增年產(chǎn)外延材料480萬片的能力。本報告經(jīng)分析論證和預測評價后認為:

本項目符合國家產(chǎn)業(yè)政策的要求,與區(qū)域規(guī)劃相容、選址合理,污染防治措施技術可行,滿足總量控制的要求。在落實本報告表提出的風險防范措施、環(huán)境污染治理和環(huán)境管理措施的情況下,污染物均能實現(xiàn)達標排放且對環(huán)境影響可接受。從環(huán)保角度來講,建設項目在擬建地建設是可行的。

四、建設單位名稱及聯(lián)系方式

建設單位名稱:南京盛鑫半導體材料有限公司

聯(lián)系人:胡經(jīng)理

聯(lián)系電話:18010793895

郵箱:hujianpeng@gs-epi.com

五、評價單位名稱及聯(lián)系方式

環(huán)評單位:南京源恒環(huán)境研究所有限公司

聯(lián)系人:徐工

聯(lián)系電話:025-87783362

郵箱:620741753@qq.com

六、征求意見稿全文的網(wǎng)絡鏈接及查閱紙質(zhì)報告表的方式和途徑

具體詳見附件;本公示5個工作日內(nèi),如需查閱紙質(zhì)報告表請與建設單位或環(huán)評單位聯(lián)系。

七、征求意見的公眾范圍和主要事項

征求意見的公眾范圍主要是項目附近的居民,主要事項包括您對該項目環(huán)保方面有何種建議和要求等。

八、公眾意見表的網(wǎng)絡鏈接

具體詳見附件

九、公眾提出意見的方式和途徑

公眾可以通過下載并填寫公眾意見表發(fā)送至建設單位郵箱,或以電話、信函或者面談等形式對該項目環(huán)保方面提出意見和建議。

十、公眾提出意見的起止時間

從公示之日起5個工作日。

南京盛鑫半導體材料有限公司

日期: 2025 41 8

盛鑫公示.pdf

附件2  環(huán)境影響評價公眾意見表.docx


 
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